? ? ? ? 無錫華瑛微電子技術(shù)有限公司致力于半導(dǎo)體濕法處理工藝及設(shè)備的研發(fā)與創(chuàng)新，在國(guó)家十一五和十二五規(guī)劃以及02重大專項(xiàng)的支持下，成功研發(fā)出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的“動(dòng)態(tài)薄層晶圓表面化學(xué)處理技術(shù)和設(shè)備”，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓表面去膠、腐蝕、清洗、鈍化，以及晶圓雜質(zhì)及超微量污染提取和相關(guān)檢測(cè)服務(wù)。
? ? ? ?華瑛微電子作為半導(dǎo)體綠色制造的引領(lǐng)者，采用自主創(chuàng)新的“動(dòng)態(tài)薄層技術(shù)DTL”，目前公司已完成對(duì)上海新昇、上海集成電路、華潤(rùn)重慶等設(shè)備的交付，與新晟、金瑞泓、華虹無錫、中芯國(guó)際等企業(yè)開展合作。目前已獲得國(guó)內(nèi)授權(quán)專利57項(xiàng)，國(guó)際發(fā)明專利30項(xiàng)，臺(tái)灣發(fā)明專利8項(xiàng)。
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